雙爐膛滑軌式PECVD-NBD-PECVD1200-50T2-N諾巴迪廠家直銷
設備簡介:
雙溫區的pecvd管式爐系統,組成部分為500w的射頻發生器、可定位的獨立滑動式燒結爐、高精度質量流量混合系統、穩定防反油真空系統。此款pecvd可用于生長納米線或用cvd方法來制作各種薄膜。
主要特點:
1.清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;
2.上開啟式結構,方便觀察試樣;
3.產品采用全自動控制方式,觸摸屏,數字化顯示;
4.可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果;
5.穩定的射頻電源,均勻的溫度分布,提高成膜質量。
服務支持:一年有限保修,提供終身支持。