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上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 40

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型號
kdc 40
陽極
dc 直流
陽極功率
100w
*大離子束流
>100ma
電壓
100-1200v
氣體
惰性和反應氣體
進氣流量
2-10sccm
壓力
<0.5m torr
離子光學(自對準)
optibeamtm
離子束直徑
4cm φ max
柵極
鉬和石墨
離子束形狀
聚焦, 平行, 散射
高度
16cm
直徑
9cm
kri 考夫曼離子源kdc 40 應用領域濺鍍和蒸發鍍膜 pc輔助鍍膜(光學鍍膜)ibad表面改性, 激活 sm離子濺射沉積和多層結構 ibsd離子蝕刻 ibe
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