潔凈廠房設計規(guī)范

潔凈廠房設計規(guī)范
空氣潔凈度等級
*2．0．1條 空氣潔凈度應按表2．0．1規(guī)定劃分為四個等級。
空氣潔凈度 表2．0．1
┌────┬──────────┬─────────┐
│等級 │每立方米（每升）空氣│每立方米（每升）空│
│ │中≥0.5微米塵粒數(shù) │氣中≥5微米塵粒數(shù) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100級 │≤35×100（3.5） │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000級 │≤35×1000（35） │≤250（0.25） │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000級│≤35×10000（350） │≤2500（2.5） │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000級│≤35×100000（3500）│≤5000（25） │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計數(shù)，應進行多次采
樣，當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的．
*2．0．2條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應以動態(tài)條件下測試的塵粒
數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應符合附錄二規(guī)定。
遠程在線環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)、塵埃粒子計數(shù)器、浮游菌采樣器、風量儀、過濾器檢漏、泄壓閥（壓縮空氣質(zhì)量檢測儀）、氣流流行檢測儀（煙霧發(fā)生器）、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計、溫濕度壓差測試儀，臭氧濃度儀、風速儀、聲級計、照度計、壓差表（計）等
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